一、火災(zāi)危險性分類
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073）把潔凈廠房的火災(zāi)危險分為甲、乙、丙三類。
醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房中的醫(yī)藥制劑、原料藥及藥用輔料等化學(xué)藥劑種類繁多，而集成電路芯片等工業(yè)生產(chǎn)也使用多種化學(xué)試劑和特殊氣體，根據(jù)生產(chǎn)所需的原料、工藝、輔助介質(zhì)的不同，結(jié)合生產(chǎn)特點，潔凈廠房的火災(zāi)危險性應(yīng)按照《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016確定，分為甲、乙、丙、丁四類，如下表。當(dāng)同一座廠房或廠房的任一防火分區(qū)內(nèi)有不同火災(zāi)危險性生產(chǎn)時，該廠房或防火分區(qū)內(nèi)的生產(chǎn)火災(zāi)危險性分類應(yīng)按火災(zāi)危險性較大的部分確定。
二、建筑材料及其燃燒性能
潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級
1、無塵車間的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。
2、在一個防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小時，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0.6h。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
3、技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1h。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0.6h；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
4、無塵凈化車間的地面材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50354的規(guī)定：甲、乙類生產(chǎn)區(qū)應(yīng)采用*材料，同時應(yīng)滿足不發(fā)火、防靜電的要求。丙、丁類廠房應(yīng)采用不低于B2級的材料。
三、防火分區(qū)和分隔
為縮短管線距離、減少能耗、提高土地利用率、有利于生產(chǎn)管理，醫(yī)藥工業(yè)制劑廠房通常將生產(chǎn)、倉儲、配套公用工程及生產(chǎn)管理、質(zhì)監(jiān)中心有機組合在一棟綜合建筑體中。在建筑設(shè)計時，應(yīng)按不同的生產(chǎn)功能、使用功能來劃分不同的防火分區(qū)。
一）一般要求
甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3000┫，多層廠房應(yīng)為2000┫。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。每一防火分區(qū)的建筑面積、安全出口、疏散距離均應(yīng)滿足規(guī)范要求。
二）其他要求
1、防火分區(qū)之間應(yīng)采用防火墻分隔。單層廠房（甲、乙類除外）如建筑面積超過上述規(guī)定，設(shè)置防火墻有困難時，可用防火卷簾并加噴淋保護(hù)進(jìn)行分隔。
2、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房當(dāng)噴淋保護(hù)等級以嚴(yán)重危險級設(shè)置時，其防火分區(qū)可擴大一倍。
3、丁、戊生產(chǎn)廠房安裝自動滅火系統(tǒng)時．防火分區(qū)面積不限，如局部安裝自動滅火系統(tǒng)時，增加面積可按該局部面積的一倍計算。
4、無塵車間的技術(shù)夾層與其直接服務(wù)的生產(chǎn)區(qū)域視為同一防火分區(qū)。大型集成電子廠房的回風(fēng)夾層可計入潔凈廠房的防火分區(qū)面積。有害菌體、病毒、放射性物料，以及其他不能使用水作為滅火劑滅火的工位區(qū)域應(yīng)設(shè)置防火分隔單元。
5、在一個防火分區(qū)內(nèi)，其潔凈生產(chǎn)與非潔凈生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻完整分隔。隔墻應(yīng)為耐火極限不低于1.00h的不燃燒材料。當(dāng)隔墻上設(shè)置觀察窗時，窗的耐火極限不應(yīng)低于0.9h。穿過隔墻或樓板的管線周圍空隙應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。
四、安全疏散設(shè)施
潔凈廠房的特點是生產(chǎn)人員崗位固定，熟悉工作場所，熟悉疏散路線，有利于人員的安全疏散。一般來說，潔凈廠房設(shè)計時應(yīng)注意合理組織疏散路線、合理設(shè)置安全出口，使平面復(fù)雜的無塵車間滿足安全疏散要求。
一）安全出口
為保證安全疏散的可靠性，潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個。安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點至安全出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化路線。潔凈廠房符合下列要求時，可設(shè)置一個安全出口。
1、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不超過50┫，且同一時間內(nèi)的生產(chǎn)人員總數(shù)不超過5人。
2、丙類生產(chǎn)區(qū)的建筑面積不超過250┫，且同一時間內(nèi)生產(chǎn)人數(shù)不超過20人時。
3、丁類生產(chǎn)區(qū)的建筑面積不超過400┫，且同一時間內(nèi)生產(chǎn)人數(shù)不超過30人時。
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動門。
二）疏散距離
潔凈廠房的疏散距離應(yīng)滿足《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的要求。潔凈廠房內(nèi)遠(yuǎn)工作地點或潔凈區(qū)疏散口到外部出口或樓梯的距離應(yīng)符合相關(guān)要求。
丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于以上規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍；對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人／┫，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。
三）疏散樓梯
潔凈廠房各疏散樓梯均應(yīng)出屋面，樓梯間的首層設(shè)置直接對外的出口。當(dāng)疏散樓梯在首層無法設(shè)置直接對外的出口，應(yīng)設(shè)置直通室外的安全通道（如有開向安全通道房間的門應(yīng)為乙級防火門），安全通道內(nèi)設(shè)置正壓送風(fēng)。
四）疏散通道
部分潔凈廠房的平面布置因潔凈度要求，每一工序都在單獨的較小的空間內(nèi)進(jìn)行，使平面布置錯綜復(fù)雜。轉(zhuǎn)折的生產(chǎn)流線和多重進(jìn)出房門影響了人員安全疏散的時間。疏散通道的設(shè)置是保證潔凈廠房安全疏散的重要措施。在醫(yī)藥工業(yè)制劑廠房中，疏散走道的確定應(yīng)盡量結(jié)合工藝要求，將工藝中已采取防火分隔措施的主通道作為安全疏散通道。
對于潔凈區(qū)域相對較大的制劑生產(chǎn)廠房，人、物流通道往往由兩部分組成，即潔凈區(qū)外部的人、物流通道及潔凈區(qū)內(nèi)部的人、物流通道。潔凈區(qū)各個生產(chǎn)用房往往由內(nèi)部通道相連以滿足不同的生產(chǎn)工序的需要，這些內(nèi)部通道同時也作為潔凈區(qū)人員的安全疏散路線，通過安全疏散門與外部非潔凈通道相連，人員通過外部通道到達(dá)室外安全出口或疏散樓梯間。建筑平面設(shè)計時應(yīng)合理構(gòu)筑人員安全疏散體系，潔凈區(qū)外部通道盡可能環(huán)通，達(dá)到多向疏散的目的，盡可能避免袋型走道，同時也有利于消防撲救。
五）消防口
消防口是消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的入口，平時封閉，火災(zāi)時由消防人員從室外打開。潔凈廠房通常是個相對封閉的空間，一旦發(fā)生火災(zāi)，給消防撲救帶來困難。潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80m時，在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置消防口。消防口的寬度不小于750mm，高度不小于1800mm，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層消防口應(yīng)設(shè)置陽臺，并從二層開始向上層架設(shè)鋼梯。
潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及寬度小于750mm、高度小于1800mm或裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為火災(zāi)發(fā)生時提供消防人員進(jìn)入廠房的入口。
五、消防設(shè)施配置
由于潔凈廠房的建筑造價及工藝設(shè)備都比較昂貴，發(fā)生火災(zāi)帶來的直接和間接的經(jīng)濟(jì)損失都十分慘重，因此建立行之有效的消防保障體系是潔凈室建造和運行必須解決的重要問題。目前被廣泛使用于潔凈廠房的滅火設(shè)施有：室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)，自動噴水滅火系統(tǒng)和滅火器。另外，還應(yīng)根據(jù)具體的條件和要求，有針對性地選用其他必要的消防設(shè)備，如氣體滅火系統(tǒng)等。
一）室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)
潔凈廠房設(shè)置的室內(nèi)、外消火栓系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行規(guī)范的要求。潔凈廠房室、內(nèi)外消防給水可采用高壓、臨時高壓或低壓給水系統(tǒng)，如采用高壓或臨時高壓給水系統(tǒng)，管道的壓力應(yīng)保證用水量達(dá)到大且水槍在任何建筑物的高處時，水槍的充實水柱仍不小于10m；如采取低壓給水系統(tǒng)，管道的壓力應(yīng)保證滅火時不利點消火栓的水壓不小于10m水柱（從地面算起）。潔凈廠房的消火栓的設(shè)置尚應(yīng)符合下列規(guī)定：
1、潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。
2、室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/S，同時使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2支，水槍充實水柱不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于5L/S。
3、潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于15L/S。
二）自動滅火設(shè)備
1、自動噴水滅火系統(tǒng)
目前，自動噴水滅火系統(tǒng)已成為潔凈廠房消防系統(tǒng)的首要選擇配置。設(shè)置在潔凈室或潔凈區(qū)的自動噴水滅火系統(tǒng)，宜采用預(yù)作用自動噴水滅火系統(tǒng)。自動噴水滅火系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)的《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50084的要求。按照《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50084的要求，其噴水強度一般不宜小于8.0L／（min.┫），作用面積不宜小于160┫。
2、其他滅火設(shè)施
除設(shè)置水滅火系統(tǒng)之外，在SiH4配送區(qū)域應(yīng)當(dāng)設(shè)置直接作用于各個氣瓶的水噴霧系統(tǒng)，該系統(tǒng)的動作信號應(yīng)當(dāng)來自感光探測器，如在遠(yuǎn)離建筑物的區(qū)域設(shè)計的開放式配送系統(tǒng)且采取了有效措施減輕爆轟影響后，可以不設(shè)置水噴霧系統(tǒng)。另外目前較為廣泛使用的還有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等潔凈氣體滅火系統(tǒng)。
三）火災(zāi)自動報警系統(tǒng)
潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警系統(tǒng)及消防聯(lián)動控制，其防護(hù)等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016規(guī)定的大建筑面積允許值時，保護(hù)等級應(yīng)為一級。硅烷儲存、分配間（區(qū)）應(yīng)設(shè)置紅外線-紫外線火焰探測器。潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層（不包括不通行的技術(shù)夾層）應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。控制設(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。
火災(zāi)自動報警系統(tǒng)的設(shè)計在滿足現(xiàn)行規(guī)范要求的同時，還應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的特殊要求合理選擇，充分優(yōu)化。下面以醫(yī)藥類潔凈廠房和電子類潔凈廠房等為例進(jìn)行說明。
1、醫(yī)藥類潔凈廠房火災(zāi)自動報警系統(tǒng)的設(shè)計
醫(yī)藥潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，生產(chǎn)區(qū)與走道還應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報警按鈕。高活性藥物生產(chǎn)潔凈室由于生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生致敏性藥物、生物活性藥物或一般致病菌，容易造成污染，因此設(shè)置在該類潔凈室內(nèi)的火災(zāi)自動報警裝置設(shè)備應(yīng)具備密閉性、耐用性、高靈敏度和表面光潔的特點。點式探測器可選用溫感探測器或火焰探測器，如需要煙感探測器，建議選用紅外光束型線型感煙探測器。對于安裝在吊頂或夾層內(nèi)比較隱蔽的電纜或電氣設(shè)備發(fā)熱可能導(dǎo)致的火災(zāi)的探測，可選用纜式線型感溫探測器。探測器可直接接觸或鄰近被探測目標(biāo)安裝，及早發(fā)現(xiàn)火災(zāi)隱患。
2、電子類潔凈廠房火災(zāi)自動報警系統(tǒng)的設(shè)計
電子潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝布置和公用動力系統(tǒng)的裝備情況設(shè)置火災(zāi)報警裝置。潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)智能型探測器。在潔凈室（區(qū)）空氣處理設(shè)備的新風(fēng)或循環(huán)風(fēng)的出口處宜設(shè)火災(zāi)探測器。當(dāng)廠房內(nèi)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行規(guī)定要求時，在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置高靈敏度早期報警火災(zāi)探測器。當(dāng)潔凈室（區(qū)）頂部安裝探測器不能滿足《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116要求時，在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置高靈敏度早期報警火災(zāi)探測器。
3、潔凈廠房內(nèi)特種氣體和化學(xué)品泄漏探測系統(tǒng)
潔凈廠房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑。其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會帶來很大的火災(zāi)危害、設(shè)備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內(nèi)部、溶劑間、溶劑輸送柜內(nèi)部、SUBFAB、閥門箱和生產(chǎn)區(qū)均應(yīng)按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學(xué)探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR探測器等。
四）防煙排煙
1、防煙設(shè)施
鑒于潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)封閉的特點，設(shè)置有效的防煙設(shè)施有利于保證火災(zāi)時人員的疏散。當(dāng)疏散樓梯間布置在建筑的外墻側(cè)，可以采用可開啟外窗進(jìn)行自然排煙。當(dāng)疏散樓梯布置在建筑內(nèi)部或樓梯間有潔凈要求不具備自然排煙條件時，應(yīng)設(shè)置機械加壓送風(fēng)系統(tǒng)。機械加壓送風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合國家有關(guān)消防技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。潔凈避難區(qū)設(shè)置的機械加壓送風(fēng)系統(tǒng)一般利用新風(fēng)空調(diào)機組進(jìn)行加壓，火災(zāi)時，維持避難區(qū)正壓，正壓值相對于相鄰區(qū)域為25-30Pa。
2、排煙系統(tǒng)
丙類廠房中建筑面積大于300┫地上潔凈室和建筑面積大于200┫的地下潔凈室應(yīng)設(shè)排煙設(shè)施。潔凈廠房疏散走道應(yīng)設(shè)置機械防排煙設(shè)施。目前潔凈室設(shè)計的排煙形式主要有上排煙模式、上排煙和下排煙相結(jié)合模式、利用回風(fēng)通道設(shè)置排煙風(fēng)機進(jìn)行排煙形式、排煙風(fēng)機兼作火災(zāi)時排煙形式。潔凈廠房每個防煙分區(qū)的排煙支管上均應(yīng)設(shè)置排煙防火閥，排煙口采用常開型風(fēng)口。排煙風(fēng)機入口處設(shè)置280℃關(guān)閉的排煙防火閥，并與排煙風(fēng)機連鎖。為維持潔凈室內(nèi)部空氣壓力，服務(wù)于凈化區(qū)域內(nèi)的排煙系統(tǒng)管路上應(yīng)采用低泄漏的排煙閥和排煙防火閥。排煙口宜采用低泄漏常閉型板式排煙口，在排煙風(fēng)機入口處采用低泄漏常閉型排煙防火閥并能接受消防中心的信號自動開啟閥體。潔凈室機械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用但必須采取可靠的防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的要求。
五）滅火器配置
潔凈廠房內(nèi)各場所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB50140的有關(guān)規(guī)定。滅火器的配置，其關(guān)鍵在于正確選擇和使用滅火劑。滅火劑選擇時，應(yīng)考慮配置場所的火災(zāi)類型，滅火劑的滅火能力，對保護(hù)對象污損程度，使用的環(huán)境溫度以及滅火劑之間、滅火劑與可燃物的相容性。在潔凈室內(nèi)通常不宜選用化學(xué)干粉滅火劑、泡沫滅火劑等滅火后會對工藝設(shè)備和潔凈室環(huán)境產(chǎn)生一定污染和腐蝕作用的滅火劑。二氧化碳滅火劑滅火后*跡．不污損、腐蝕保護(hù)物品，在潔凈室內(nèi)得到普遍使用。
六）疏散標(biāo)志和應(yīng)急照明
潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置疏散標(biāo)志，在消防撲救口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
六、氣體管道的安全措施
潔凈廠房氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水、電管線共架時，應(yīng)設(shè)在其上部。與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。氣體管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識。
各種氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，但必須采取不積塵和易于清潔的措施。
一）可燃?xì)怏w報警裝置和事故排風(fēng)裝置
可燃?xì)怏w易燃易爆，危險性大，可能發(fā)生燃燒爆炸事故，而且發(fā)生事故時波及面廣，危害性大，造成的損失嚴(yán)重，下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報警裝置和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖：
1、甲類火災(zāi)危險生產(chǎn)的氣體入口室。
2、管廊，上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w管道的易積聚處。
3、潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。
二）管道安全技術(shù)措施
1、可燃?xì)怏w管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施：
1）接至用氣設(shè)備的支管和放散管，應(yīng)設(shè)置阻火器。
2）引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)防雷保護(hù)設(shè)施。
3）應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
2、氧氣管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施：
1）管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。
2）應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。